微纳制造与半导体器件
作者:周圣军
ISBN:978-7-111-75922-5
所属丛书:新工科·普通高等教育机电类系列教材
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本书基于编者在微纳制造领域的实践经验与研究成果,并结合近年来国际上的最新进展,综合介绍了微纳制造技术与半导体器件工艺。全书分为3 篇,共12章,包括半导体基本原理(半导体材料、能带和PN 结)、微纳制造工艺(掺杂、外延生长技术、光刻工艺、纳米压印光刻技术、刻蚀、沉积技术)、半导体器件(器件测试分析与表征技术、Ⅲ族氮化物发光二极管、SiC 压阻式压力传感器、器件仿真软件)等内容,对微纳制造和器件加工中涉及的技术与工艺进行了详细的介绍。
本书内容丰富,注重理论与实践相结合,适合作为机械、微电子、光学等相关专业的教材,供本科生和研究生学习使用,也可作为半导体行业研发人员的参考书。